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外延片(硅片)腐蝕清洗機(jī)

發(fā)布時(shí)間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:111次

外延片(硅片)腐蝕清洗機(jī)(圖1)

 

概述:

本機(jī)控制模式:手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式。

主要特點(diǎn):

清洗規(guī)格:

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件;腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液,保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性。

(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定。

藥液供給及補(bǔ)液方式:分體式CDS自動(dòng)供夜系統(tǒng);DI槽配有在線式水質(zhì)檢測(cè)裝置;配有分體式廢液回收系統(tǒng)。


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